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芯源微:公司前道涂胶显影设备已完成在晶圆加工环节28nm及以上工艺节点全覆盖

2023-07-31 15:15:04来源:界面新闻


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芯源微7月31日在互动平台表示,公司已经掌握包括涂胶显影设备、单片式湿法设备等产品多项核心技术,并形成了完善的自主知识产权。公司前道涂胶显影设备已完成在晶圆加工环节28nm及以上工艺节点全覆盖,并可持续向更高工艺等级迭代。

(文章来源:界面新闻)

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